砷磷烷凈化劑
三和砷磷烷凈化劑由精選金屬氧化物、自制高吸附基材等材料及特殊化學(xué)添加劑構(gòu)成。它通過高效的吸附和化學(xué)反應(yīng)機(jī)制，專門針對氣體中的砷烷（AsH?）和磷烷（PH?）雜質(zhì)進(jìn)行去除，實(shí)現(xiàn)氣體的高純度凈化。
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